АСУ ТП установки для нанесения оксидного покрытия магнетронным методом

АСУ ТП предназначена для управления установкой для нанесения оксидного покрытия на металлическую ленту-подложку магнетронным методом и ориентирования его текстуры ионно-лучевым методом. Текстурированное покрытие предназначено для выпуска высокотемпературных сверхпроводников 2-го поколения (ВТСП-2).